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東莞市鼎偉新材料有限公司專業(yè)生產(chǎn):鎳釩合金靶、高純鉻靶、鈦鋁靶、鉻鋁靶、鎳鉻合金靶、鎢鈦合金靶材等;公司先后研發(fā)的蒸發(fā)材料、濺射靶材系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用到國內(nèi)外眾多知名電子、太陽能企業(yè)當(dāng)中,以較高的性價(jià)比,成功發(fā)替代了國外進(jìn)口產(chǎn)品,頗受用戶好評。

什么是貴金屬靶材

時(shí)間:2022-09-10瀏覽數(shù):801

     貴金屬靶材就是采用精練、粉末冶金、壓延加工或熔化鍛造制造而成的貴金屬靶材材料。是主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、存儲用的硬盤、平面顯示器等的布線和制備薄膜用的貴金屬濺射靶材材料。廣泛應(yīng)用于集成電路和大規(guī)模集成電路。還有一些合金靶材用于磁記錄。

     在貴金屬靶材中其貴金屬的純度都在99.99%以上主要應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)與大規(guī)模的集成電路中,是電子信息產(chǎn)業(yè)中不可或缺的重要材料之一。比如金靶材應(yīng)用于磁控濺射鍍膜,SEM金靶材用于掃描電鏡SEM設(shè)備。貴金屬靶材就形態(tài)品種而言根據(jù)行業(yè)應(yīng)用的不同有顆粒狀、絲狀、塊狀、片狀等形狀尺寸大小不一,根據(jù)行業(yè)需求都是可以定做的。
      為什么貴金屬靶材對純度要求這么高呢?主要是因?yàn)樵诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,小小的芯片要處理的東西越來越多了,隨著工藝的發(fā)展對其純度要求也越來越高了。因?yàn)榘胁牡慕Y(jié)晶粒子直徑和均勻性被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。

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